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易度微流量流量计基于内部补偿型*层流压差技术，产品最小满量程0.5sccm，测量流量范围为5uL~500uL，更小流量需定制。可快速精确测量过程气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。用于精确和快速测量气体流量、泄露率检测等。
特征：
l原理：层流压差式原理
l便捷操作：可触屏点击操作、读取流量，或者提供上位机软件操作。
l核心优势：高精度、高重复性、快速响应
l宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内
l实时显示5种过程变量
l内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体
l无需预热时间，开机即可使用，即插即用。
产品规格：
l产品型号：
l量程范围：0.5sccm~5000slpm
性能参数：
l精度：±1.0%RD
l重复精度：±0.2%F.S.
l压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))
l温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）
l工作范围：1%~120%F.S.
l响应时间：≤100ms.
l启动预热时间：1s
使用条件：
l介质温度：-20℃~60℃
l环境温度：-20℃~50℃
l使用湿度：0%~98%（无冷凝）
l工作压力：0~1Mpa
l耐压：1.5Mpa
l压损：4kPa
l供电电压：24V±20%
l消耗电流：＜150mA（＜5V）
l安装方式：任意角度
l接气部材质：SUS304，SUS316L
l进出口：管螺纹（内螺纹）
l接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶
通讯方式：
l数字信号：RS485，Profibus
l模拟信号：4-20mA，0-5V
应用场景
l流量型气密性测试设备
l医疗气密测试设备
l漏孔检测测试
易度智能微流量流量计在微小流量测控领域具有较好的应用，传感器灵敏性好，可极快检测到几微升的流量波动并迅速显示。
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